Energetiq白光光源
產(chǎn)品型號：/
所屬品牌：Energetiq
產(chǎn)品簡介：Energetiq提供各種白光光源如：自定義光譜光源，超亮度白光光源，激光驅(qū)動可調(diào)諧光源，激光驅(qū)動光源，極紫外光源等。
Energetiq采用突破性專利技術(shù)生產(chǎn)先進的下一代光源，包括我們的超亮激光驅(qū)動光源（LDLS?）和無電極Z-Pinch?EUV光源。我們的白光光源在寬光譜范圍內(nèi)產(chǎn)生高亮度，從柔和的x射線到最深的紫外線，通過可見光和近紅外，并在可靠、緊湊的封裝中提供高效的光收集。
自定義光譜光源CSE --Chromatiq Spectral Engine?（CSE）是一種系統(tǒng)級光源，可提供對發(fā)射光的光譜含量的精確控制。用戶可以模擬真實世界的照明條件，組合來自多個來源的光譜，并塑造自定義光譜，以滿足特定的測試和校準(zhǔn)需求。
CSE提供無與倫比的光譜匹配精度、可重復(fù)性和速度，以優(yōu)化生產(chǎn)環(huán)境中的光學(xué)測試和校準(zhǔn)程序。光譜可以在不到10ms的時間內(nèi)切換，以節(jié)省時間并提高工藝吞吐量。
CSE可以復(fù)制任何可見光光源的光譜，例如日光、LED、任何熒光燈、白熾燈、氙燈……；CSE也可以自定義輸出光譜曲線，以滿足特定的測試和校準(zhǔn)需求。
技術(shù)指標(biāo)
型號 | CSE-EQ-99-VIS | CSE-EQ-99-VIS-NIR |
波長范圍 | 380~780nm | 380~1100nm |
光譜分辨率 | <5mm | <5mm |
切換速度 | <10ms | <10ms |
輸出類型 | 6.5mm液體光導(dǎo) | 6.5mm液體光導(dǎo) |
| 規(guī)格書 |  CSE-EQ-99-VIS_Data_Sheet.pdf |
激光驅(qū)動光源（LDLS?）高亮度、寬帶光源
Energetiq LDLS光源可實現(xiàn)高效的深紫外到近紅外生產(chǎn)，用于最先進的照明應(yīng)用。
傳統(tǒng)的方法使用弧光燈和放電來實現(xiàn)亮度、紫外線功率和燈的壽命，但這種方法限制了你能走多遠。
獲得專利的LDLS技術(shù)可產(chǎn)生極小、高亮度的等離子體，提供終極高效的光收集和從最深的紫外線到可見光再到近紅外的寬光譜范圍
技術(shù)指標(biāo)
型號 | EQ-99X | EQ-99X-FC | EQ-99X-CAL | EQ-77X | EQ-77C | EQ-400 |
波長范圍 | 170nm~2500nm | 190nm~2500nm | 200nm~800nm | 170nm~2500nm | 160nm~20,000nm | 170nm~2500nm |
等離子體尺寸(FWHM） | 100 μm x 180 μm | 100 μm x 180 μm | / | 125 μm x 380 μm | ~225 μm | 370 μm x 800 μm |
數(shù)值孔徑 | 0.47 | 0.22 | / | 0.5 | / | 0.5 |
燈泡壽命 | 10,000小時 | 10,000小時 | / | 10,000小時 | 10,000小時 | 10,000小時 |
特點 | 體積小,經(jīng)濟 | 光纖耦合輸出 | 寬帶校準(zhǔn)源 | 極高亮度 | 超寬波長范圍 | 超高光射 |
激光驅(qū)動可調(diào)諧光源（LDTLS?）
在窄帶中提供高光輸出的波長可調(diào)諧光源
用于傳感器校準(zhǔn)和連續(xù)、高吞吐量應(yīng)用
Energetiq LDTLS?緊湊型光源可讓您擺脫波長限制，在最寬的光譜范圍內(nèi)進行快速、可重復(fù)和精確的測量。
激光驅(qū)動可調(diào)諧光源（LDTLS?）圍繞我們的激光驅(qū)動光源（LDLS?）技術(shù)構(gòu)建，通過光纖耦合輸出的便利性，您可以獲得寬波長范圍的可調(diào)諧性、高光譜分辨率和超長壽命。LDTLS具有精確的高性能單色儀，用于精確的波長選擇和可重復(fù)的光輸出。
技術(shù)指標(biāo)
型號 | TLS-EQ-9-S | TLS-EQ-77-S | TLS-EQ-77-UV | TLS-EQ-77-NIR |
波長范圍 | 380~1100nm | 350~1100nm | 200~770nm | 800~1700nm |
波長精準(zhǔn)度 | ±0.5nm | ±0.5nm | ±0.5nm | ±0.5nm |
掃描速度 | <20ms for a 2nm step | |||
常規(guī)光輸出端 | 1500μm芯徑光纜 | 1500μm芯徑光纜 | 600μm芯徑光纜 | 1500μm芯徑光纜 |
數(shù)值孔徑（NA) | 0.39 | 0.39 | 0.39 | 0.39 |
光譜分辨率(FWHM) | 用戶可選:1.0~8.0nm | 6.5nm | 4.7nm | 9nm |
激光等級 | Class 1 (IEC 60825: 2014) | |||
最大帶內(nèi)通量 | 2.37 mW at 824 nm | 4.9 mW at 400 nm | 1.6 mW at 300 nm | 1.62 mW at 920 nm |
平均帶內(nèi)通量 | ~1.20 mW | ~2.3 mW | ~1.1 mW (200 nm - 500 nm) | ~0.44 mW |
特點 | 中端、靈活的TLS，具有可配置的分辨率 | 定制單色儀和快速波長調(diào)諧 | 紫外線波長范圍內(nèi)的高輻射單色光 | 近紅外（NIR）波長范圍內(nèi)的單色光 |
極紫外光源
使用無電極的緊湊、可靠的EUV
Z-Pinch?技術(shù), 易于集成的模塊化設(shè)計
Energetiq獨特設(shè)計的EUV極紫外光源可最大限度地減少熱負荷并減少碎片，使您能夠在緊湊的模塊化單元中控制峰值亮度和峰值功率。
半導(dǎo)體光刻、掩模毛坯檢測、材料研究和生命科學(xué)研究等領(lǐng)域的進步依賴于在深紫外和x射線區(qū)域（10至50nm）之間產(chǎn)生輻射的基于等離子體的光源。傳統(tǒng)的產(chǎn)生極端紫外線的方法使用電極，電極會產(chǎn)生熱量并產(chǎn)生不需要的碎片——不適合生產(chǎn)環(huán)境。
Energetiq的無電極Z-Pinch?EUV極紫外電源采用專利設(shè)計，將電流感應(yīng)耦合到等離子體中，以清潔、涼爽的方式產(chǎn)生超短波長的紫外線輻射。模塊化設(shè)計提供了高啟動時間和現(xiàn)場驗證的可靠性，并具有用戶控制輸出的靈活性，以優(yōu)化功率和亮度。
技術(shù)指標(biāo)
型號 | EQ-10R | EQ-10R-HP | EQ-10R-SXR |
典型輸出功率 | 10W* | 20W* | 400mW+ |
典型亮度 | 5 W/mm2.sr | 8 W/mm2.sr | N/A |
脈沖速率 | 達到2kHz | 達到2.5kHz | 達到2kHz |
目標(biāo)氣體 | 氙 | 氙 | 氮 |
應(yīng)用 | 研發(fā) | 計量學(xué)，顯微鏡 | 水窗顯微鏡，光學(xué)測試 |
特點 | 用于EUV研發(fā)的高可靠性、高穩(wěn)定性10瓦EUV電源 | 用于計量和測試的高亮度20瓦EUV光源 | 半導(dǎo)體計量和水窗口顯微鏡 |
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